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　　無油真空泵是一種無需任何油作潤(rùn)滑就能運(yùn)轉(zhuǎn)工作的機(jī)械真空泵。它具有操作容易、維護(hù)方便、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)，無油真空泵耐用性好，是壓縮，抽真空，兩用真空泵，是一種應(yīng)用范圍非常廣泛獲得真空的基本設(shè)備。

　　無油真空泵跟個(gè)別容積泵雷同，由定子、缸體、旋片、轉(zhuǎn)子、電機(jī)等重要整機(jī)組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心腸安裝在定缸內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個(gè)徑向滑動(dòng)旋片將泵腔分隔成四個(gè)工作室，因?yàn)殡x心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進(jìn)排出口分別開來，周而復(fù)始運(yùn)行，進(jìn)行變?nèi)?，將吸入氣體，從排氣口排出，從而到達(dá)抽氣目標(biāo)，替換了旋片式真空泵需要耗真空油才干使用的短處。

　　在選購無油真空泵時(shí)要先確定要求工作的真空度，否則達(dá)不到抽真空的要求，就會(huì)達(dá)不到工作要求。其次是無油真空泵抽氣速率，選型時(shí)就要稍大于所需求的抽氣速率，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，這樣就能更好的滿足需要。后看抽取的氣體有無腐蝕性，有腐蝕的氣體會(huì)腐蝕泵，必須要用特殊的材質(zhì)才能滿足需求。

　　由無油真空泵的定義得知，為滿足良好的環(huán)境，其抽氣腔是無油的。但機(jī)械傳動(dòng)部分還需油類潤(rùn)滑，例如多級(jí)無油真空泵和螺桿型干式泵等。其傳動(dòng)齒輪的軸承都需要潤(rùn)滑。利用迷宮式密封結(jié)構(gòu)，去隔離泵腔和齒輪箱等部位，比較簡(jiǎn)單的方法是在泵腔和需要潤(rùn)滑的部位之間充入干燥的惰性氣體，或安裝密封圈。

　　一定要有良好的防返流措施才行，大部分無油真空泵在低壓下使用，而迷宮式結(jié)構(gòu)能防止?jié)櫥瓦M(jìn)入泵腔，但有可能使氣體通過，因?yàn)辇X輪箱中的氣體壓力不受限制，如果齒輪箱內(nèi)的氣體壓力大于泵腔內(nèi)的壓力，有壓力梯度存在就會(huì)出現(xiàn)齒輪箱內(nèi)油蒸汽向泵腔內(nèi)的擴(kuò)散。因此對(duì)無油真空泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要好好考慮，將齒輪箱中的油池面上，進(jìn)行減壓預(yù)抽，控制齒輪箱中的氣體壓力，并通過唇形密封圈，將油池與泵腔隔離，避免污染被抽氣體。

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